集40多年的探針輪廓技術創新于一身，該系統在行業內的表現遙遙 ，以重現性 和標準掃描範圍 而著稱。它提供各種各樣的配置和附加選項，用於程序化測量、低探針力表征和細節分析
臺階儀Dektak 150 表面輪廓儀（探針式）
規格：
測試技術：探針輪廓技術
測試功能：二維表面輪廓測試
樣品視場：640*480像素，USB；17 inc 平板顯示器
探針傳感器：低慣量傳感器（LIS 3）
探針壓力：使用LIS 3傳感器：1至15 mg
使用N-lite傳感器：0.03至15 mg
探針選項：探針曲率半徑可選範圍：50 nm至25 um;
高徑比針尖：10 um * 2 um 和200 um*20 um
樣品載物台：手動X/Y/@：100*100 mm, 360度旋轉，可手動校平；
可選Y自動移動載物台，100 mm行程，1um重現性，0.5 um分辨率；
可選X-Y自動移動載物台，150 mm行程；
1um重現率，0.5 um 分辨率
計算機系統：主機使用celeron或者semprom處理器
軟件：Dektak軟件
臺階檢測軟件
可選應力測量軟件
可選三維Vision分析軟件
可選縫合軟件
減震裝置：可選桌式震動隔離裝置
可選臺式震動隔離裝置
性能
掃描長度範圍55mm(2.1英吋)
每次掃描數據點 12萬數據點
樣品厚度高達90 mm (4英吋)，取決于配置
晶圓尺寸150 mm(6英吋)
臺階高度重現性6埃
垂直範圍：標準524um(0.02英吋)；可選1mm
垂直分辨率： 1A（6.55um垂直範圍下）
尺寸：292 mm *508 mm*527 mm
重量：34 kg
電源要求：
輸入電壓：100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ
有意者可詳談！
