原子力顯微鏡AFM探針: Bruker探針
探針的工作模式:主要分為 掃描(接觸)模式和輕敲模式
探針的結構:懸臂梁+針尖
探針針尖曲率半徑Tip Radius:一般為10nm到几十nm。
製作工藝:半導體工藝製作
常見的探針類型:
(1)、導電探針(電學):金剛石鍍層針尖,性能比較穩定
(2)、壓痕探針:金剛石探針針尖(分為套裝和非套裝的)
(3)、氮化硅探針:接觸式(分為普通的和銳化的)
(4)、磁性探針:應用於MFM,通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備
(5)、電化學探針(STM): 電學接觸式和電學輕敲式
(6)、FIB大長徑比探針:測半導體結構,專為測量深的溝槽(深孔)以及近似鉛垂的側面而設計生產的。
RTESP
硅探針
彈性指數40N/m, 共振頻率300kHz, 旋轉針尖, 無塗層
包裝數量:10根/盒
針尖參數
幾何:各向異性
針尖高度(h): 15 - 20µm
正面角(FA): 15 ± 2°
背面角(BA): 25 ± 2°
側面角(SA): 17.5 ± 2°
針尖曲率半徑(Nom): 8nm
針尖曲率半徑(Max): 12nm
針尖縮進(TSB)(Nom): 15µm
針尖縮進範圍(TSB)(RNG): 5 - 25µm
DNP-10
氮化硅探針
用於接觸式或輕敲模式或力的測量。
非套裝,適用於BioScope AFM 及 Dimension 系列SPM。
每個基片有4個懸臂,彈性係數為0.06 - 0.58 N/m,共振頻率為18-65 KHz
包裝數量:10根/盒
針尖參數
幾何:各向異性
針尖高度 (h): 2.5 - 8.0µm
正面角(FA): 15 ± 2.5°
背面角(BA): 25 ± 2.5°
側面角 (SA): 17.5 ± 2.5°
針尖曲率半徑(Nom): 20nm
針尖曲率半徑(Max): 60nm
針尖縮進 (TSB)(Nom): 4µm
針尖縮進範圍 (TSB)(RNG): 0 - 7µm
HMX-10
HarmoniX探針
用於納米材料樣品的屬性映射,標準樣品的硬度範圍在10MPa到10GPa之間。 HMX探針更適用於硬而粘的樣品表面。彈性係數2 N/m, 共振頻率為60 kHz, 鋁反射塗層
包裝數量:10根/盒
針尖參數
獨特的“離軸”設計,適用於Veeco HarmoniX模式,tr/fl=17N/m。
幾何:各向異性
針尖高度 (h): 4 - 10µm
正面角(FA): 25 ± 2.5°
背面角(BA): 15 ± 2.5°
側面角(SA): 22.5 ± 2.5°
針尖曲率半徑(Nom): 10nm
針尖曲率半徑(Max): 12nm
針尖縮進(TSB)(Nom): 10µm
針尖縮進範圍(TSB)(RNG): 5 - 15µm
有意者可詳談!