Wyko NT9800是目前功能 大的光學輪廓儀,可快速地測量臺階高度、表面粗糙度及一系列形貌參數。作為Veeco行業 的第九代NT系列產品線的 端產品,NT9800可對0.1nm至10毫米尺寸進行非接觸式三維測量,並具有納米量級的垂直分辨率。
具有定標功能的NT9800能夠協助產前工藝及滿足產品開發的需要,並可作為一個向量產過渡地穩定的,可靠的平台。採用Veeco獨有的內部參考激光將測量的標準臺階上的偏差降低到最小,同時可彌補自環境或機械不穩定性造成的系統飄移。NT9800將 大的測量核心技術、全自動化功能、大於十年以上的量產支持體系,及使用簡便的界面集於一身,已成為要求苛刻的科學研究及生產實踐 選擇。
行業 的Wyko Vision軟件有超過200種的數據分析工具,包括自動序列測量、數據記錄及及時反饋和SPC的合格/不合格標準評判。可選的數據分析包有膜厚分析軟件(針對100nm以上的透明薄膜)。SureVision分析模板可便利地實現自動化,MATLAB界面可使工程師自行編程及整合用戶分析算法。
NT9800光學輪廓儀是一款操作簡便、目前 端的光學輪廓儀。
有意者可詳談!