探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150

探针轮廓仪(台阶仪)DEKATK150

型号︰DEKATK150

品牌︰VEECO

原产地︰美国

单价︰-

最少订量︰1 台

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产品描述

40多年的探针轮廓技术创新于一身,该系统在行业内的表现遥遥 ,以重现性 和标准扫描范围 而著称。它提供各种各样的配置和附加选项,用于程序化测量、低探针力表征和细节分析

台阶仪Dektak 150 表面轮廓仪(探针式)

规格:

测试技术:探针轮廓技术

测试功能:二维表面轮廓测试

样品视场:640*480像素,USB17 inc 平板显示器

探针传感器:低惯量传感器(LIS 3

探针压力:使用LIS 3传感器:115 mg

          使用N-lite传感器:0.0315 mg

探针选项:探针曲率半径可选范围:50 nm25 um;

          高径比针尖:10 um * 2 um 200 um*20 um

样品载物台:手动X/Y/@100*100 mm, 360度旋转,可手动校平;

            可选Y自动移动载物台,100 mm行程,1um重现性,0.5 um分辨率;

            可选X-Y自动移动载物台,150 mm行程;

            1um重现率,0.5 um 分辨率

计算机系统:主机使用celeron或者semprom处理器

软件:Dektak软件

      台阶检测软件

      可选应力测量软件

      可选三维Vision分析软件

      可选缝合软件

减震装置:可选桌式震动隔离装置

          可选台式震动隔离装置

性能

扫描长度范围55mm(2.1英寸)

每次扫描数据点 12万数据点

样品厚度高达90 mm (4英寸),取决于配置

晶圆尺寸150 mm(6英寸)

台阶高度重现性6

垂直范围:标准524um(0.02英寸);可选1mm

垂直分辨率: 1A6.55um垂直范围下)

尺寸:292 mm *508 mm*527 mm

重量:34 kg

电源要求:

输入电压:100-120VAC/200-240VAC, 50-60 HZ

 

有意者可详谈!

付款方式︰ 电议